Thiết bị gia nhiệt trong môi trường chân không được nối với hệ thống bơm chân không cao bằng các đường ống đặt trong lò được bịt kín bằng vỏ kim loại hoặc vỏ thủy tinh thạch anh.

Độ chân không của lò có thể đạt tới 133×(10-2～10-4)Pa.

Hệ thống hong sấy trong lò có thể được làm nóng trực tiếp bằng dây điện trở (chẳng hạn như dây vonfram), hoặc có thể sử dụng hệ thống hong sấy cảm ứng cao tần.

Nhiệt độ tối đa có thể đạt khoảng 3000oC.

Chủ yếu được sử dụng để nung gốm, nấu chảy chân không, khử khí các bộ phận chân không điện, ủ, hàn các bộ phận kim loại và hàn kín kim loại gốm.

Ưu điểm:

1. Nó loại bỏ hoàn toàn quá trình oxy hóa và khử cacbon của bề mặt phôi trong quá trình gia nhiệt, và có thể có được bề mặt sạch mà không có lớp hư hỏng. Điều này liên quan rất nhiều đến việc cải thiện hiệu suất cắt của các dụng cụ chỉ mài một mặt trong quá trình mài (chẳng hạn như mài mũi khoan xoắn để lớp khử cacbon trên bề mặt rãnh tiếp xúc trực tiếp với lưỡi cắt).

2. Không gây ô nhiễm môi trường và không cần xử lý chất thải.

3. Độ chính xác của việc đo và giám sát nhiệt độ lò được cải thiện đáng kể. Giá trị được chỉ định của cặp nhiệt điện nằm trong khoảng ±1,5°C của nhiệt độ lò. Tuy nhiên, chênh lệch nhiệt độ giữa các bộ phận khác nhau của một số lượng lớn phôi trong lò là lớn, nếu sử dụng tuần hoàn cưỡng bức khí mỏng, chênh lệch nhiệt độ vẫn có thể được kiểm soát trong phạm vi ±5°C.

4. Mức độ tích hợp cơ điện cao. Trên cơ sở cải thiện độ chính xác của phép đo và điều khiển nhiệt độ, chuyển động phôi, điều chỉnh áp suất không khí, điều chỉnh công suất, v.v. có thể được lập trình trước và quá trình làm nguội và ủ có thể được thực hiện từng bước.

5. Mức tiêu thụ thấp hơn đáng kể so với Lò nung muối xử lý nhiệt. Buồng gia nhiệt lò chân không tiên tiến hiện đại sử dụng tường và rào cách nhiệt làm bằng vật liệu cách nhiệt chất lượng cao, có thể tập trung cao độ năng lượng nhiệt điện trong buồng gia nhiệt, mang lại hiệu quả tiết kiệm năng lượng đáng kể.